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Komplettsysteme bestehen来自:
- PVD / PeCVD Beschichtungsanlagen "
- Reinigungsanlagen (Lösungsmittel als auch Wasserbasierend)
- Entschichtungsanlagen
- Oberflächenbehandlung und Kantenverrundung
- Qualitätskontrolle (Kalotester, XRF, mikroscope, Härte-/Scratchtester, Geräte zur Messung der Kantenverrundung)
- Substrathalterungen
